基本結構
原子發(fā)射光譜儀分為攝譜儀和光電直讀光譜儀兩類，后者又分為多道光譜儀、單道掃描光譜儀和全譜直讀光譜儀等。
原子發(fā)射光譜儀器的基本結構由四部分組成：激發(fā)光源，進樣系統(tǒng)，分光系統(tǒng)，檢測系統(tǒng)。
ICP-AES 檢測器的發(fā)展
照相法
ICP多道直讀光譜儀 PMT
ICP單道掃描光譜儀 PMT
ICP全譜直讀光譜儀 CCD
通常分析過程試樣溶液經(jīng)進樣裝置霧化器將液體樣品霧化，進入ICP，然后樣品被等離子體激發(fā)，發(fā)射出元素的特征光譜并由反射鏡反射，而后聚焦在光譜儀的入射狹縫上。當光進入光譜儀后，射到光柵上。在凹面光柵光譜儀焦面上，針對每一個元素的光譜線設置一個元素的譜線通道、設置一個出射狹縫和一套光電倍增管及其相應的負高壓電源等檢測電路。每一個通道測定一個元素，安裝多個(可達70個)通道，可同時接收不同元素的譜線，并記錄其強度。（現(xiàn)市面上已無ICP多道直讀）。
單道掃描等離子光譜儀，具有一個通道，在儀器的焦平面上只安裝一個出射狹縫、一個光電倍增管及其相應的檢測電路。分析不同的元素時可根據(jù)其譜線波長的大小相應轉(zhuǎn)動光柵衍射角，待測元素的分析線按波長順序依次落到出射狹縫上，從而可以在從真空紫外到近紅外波段的廣闊范圍內(nèi)任意選擇譜線。根據(jù)譜線強度，可算出相應的元素的含量。
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